เตาเผาสำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยว
แอปพลิเคชัน
เตาหลอมผลึกเดี่ยว มักใช้สำหรับการปลูกผลึกเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ซิลิคอน แซฟไฟร์ หรือเจอร์มาเนียม โดยทั่วไปจะมีโครงสร้างแบบดึงผลึกแนวตั้ง พร้อมประตูเปิดด้านหน้า
ข้อดี
เราสามารถรับประกันพารามิเตอร์ที่สำคัญที่สุดสองประการที่จำเป็นต่อการเจริญเติบโตอย่างมีนัยสำคัญ ได้แก่ ความเสถียรและการควบคุม ทั้งสองอย่างจำเป็นต่อการบรรลุความสม่ำเสมอ ความสามารถในการทำซ้ำ และความเป็นระเบียบ ซึ่งเป็นกุญแจสำคัญสู่ความสำเร็จในการเจริญเติบโตของผลึกในห้องปฏิบัติการและในกระบวนการผลิต
1. ความเสถียรช่วยให้ผู้ปลูกผลึกมีสภาพแวดล้อมที่ทราบและคงที่สำหรับการปลูกผลึกที่ต้องการความแม่นยำสูง ความเสถียรช่วยให้มั่นใจได้ว่าอุณหภูมิและการไล่ระดับความร้อนมีความสม่ำเสมอและกำหนดได้อย่างแม่นยำ เพื่อให้ได้การหลอมเหลวและการปรับแต่งโซนที่สม่ำเสมอ ความเสถียรต้องอาศัยสภาพแวดล้อมที่เป็นก๊าซหรือสุญญากาศที่ควบคุมได้ดี ความเสถียรในการปลูกผลึกต้องการการเคลื่อนไหวที่ราบรื่น คงที่สูง ปราศจากการสั่นสะเทือน มีช่วงกว้างและไดนามิก สามารถตั้งโปรแกรมอนุพันธ์อันดับหนึ่งและอันดับสองได้ และมีการกำหนดค่าหลายแกน – แต่ทั้งหมดนี้ต้องอยู่ภายใต้การควบคุม
2. การควบคุมทำได้ผ่านระบบคอมพิวเตอร์อัตโนมัติของเรา ซึ่งรักษาอุณหภูมิให้คงที่ตามที่ตั้งไว้ และเปลี่ยนแปลงค่าได้อย่างรวดเร็วและราบรื่นไปยังค่าใหม่โดยมีการโอเวอร์ชูตน้อยที่สุด ระบบการเคลื่อนที่ต้องให้ความเร็วในการดึงที่สม่ำเสมอสูงทั้งในด้านเวลาและพื้นที่ในแต่ละช่วงเวลาและในแต่ละสัปดาห์ ความแม่นยำของตำแหน่งต้องได้รับการรักษาไว้ตลอดวงจรการดึงทั้งหมด เพื่อให้มั่นใจได้ว่าผลลัพธ์จากระบบการเจริญเติบโตของผลึกมีความสม่ำเสมอและทำซ้ำได้
3. มอบอุปกรณ์ปลูกผลึกความแม่นยำสูงแบบครบวงจรและบูรณาการให้แก่คุณพร้อมระบบควบคุมเส้นผ่านศูนย์กลางอัตโนมัติ และเทคโนโลยีเบ้าหลอมล้ำสมัย
ภาพวาดรายละเอียด











